제품소개

형광X선 분석장치 EA6000VX


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기판 전면에 걸쳐 유해물질 관리와 특정 부위를 위한 미소부의 측정 등

기존 장치에서는 대응이 어려웠던 것들도 EA6000VX에서는 가능하게

되었습니다.




26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 1. 고속 매핑  

    최대 150,000cps 고계수율 검출기에 의한 고감도 측정과 최대 250 ㎜ × 200 ㎜ 영역을

    매핑 가능한 고속 스테이지에 의한 고속 매핑 측정이 가능합니다.

    100 ㎜ × 100 ㎜ 영역에서는 기판의 단자에 함유된 Pb(납)을 2~3분에 검출할 수 있으며,

    부위를 지정 할 수 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 2. 연속 다점측정

    최대 500포인트의 위치를 지정할 수 있어 오토샘플러의 기능과 같이 연속 다점측정을

    실행하는 것이 가능합니다. 다량의 시료를 측정할 때에도 절대적인 처리능력을 발휘합니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 3. 고정밀 중첩

    텔레센트릭 렌즈 시스템(Telecentric Lens System)과 고속∙고정밀도 XY 스테이지에 따라

    원소의 매핑 이미지와 광학 이미지와의 중첩도 정밀하게 할 수 있기 때문에, 미세 부품 중

    특정 부분에 특정 원소의 분포를 쉽게 파악할 수 있습니다.

    최대 250 ㎜ × 200 ㎜의 어떤 위치도 수직 관찰상으로 되어 있어, 광역에서의 위치 지정의

    차이도 100㎛ 이내로 정밀합니다.    




26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 4. 미소부 분석

    FT 시리즈로 정평이 나있는 도금두께 측정에서도 EA6000VX는 뛰어난 성능으로 대응이 가능합니다.

    Au의 박막도금 등의 두께 측정은 물론이며 도금 중 포함된 Pb 등의 유해물질 분석도 두께 측정과

    동시에 측정이 가능합니다.

    예를들어 Pb-free 솔더 도금과 리드프레임의 Sn도금, 무전해 Ni 도금 중에 포함되는 유해물질의 농도

    측정이 가능합니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 5. 각종 환경 규제에 대한 표준 물질

    RoHS 규제관리 원소(Cd, Pb, Cr, Hg, Br)외에도 염소(Cl)를 비롯한, 안티몬(Sb)과 

    유기주석(Sn) 등의 관리를 지원하는 표준 물질을 직접 개발 및 제조하고 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 6. 경원소의 대응 (옵션)

    헬륨 퍼지(He purge) 옵션을 장착하여 나트륨(Na)의 경원소 분석이 가능합니다.

    측정하고 있는 시간 동안만 He를 퍼지하는 독자적인 안정화 시스템으로 유지비용도

    절감할 수 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 7. 시스루(see-through) 매핑 기능

    노트북이나 휴대전화 등 외장 부품에 의해 내부의 구조를 알 수 없는 제품을 분해하지

    않고 내부 보드의 Pb를 비롯한 다양한 원소 매핑상을 얻을 수 있습니다.

    X선을 투과시켜 얻어지는 원소 매핑상을 비교하여 내부의 부품이나 구조에 대한 다양한

    정보를 얻을 수 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 8. 이물질 검출

    EA6000VX의 고속 매핑기능은 광역 (최대 250 ㎜ x 200 ㎜)에 함유되는 수십㎛의 미세한

    금속 이물질을 몇 분안에 감지하여 함유범위를 확인할 수 있습니다.

    수지 등의 유기물이라면 내부에 함유된 미소, 미량의 금속 이물질도 검출할 수 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 9. 안전∙안심의 향상된 조작성

    오토 어프로치(auto approach), 충돌방지기능이 적용된 스테이지에 시료를 넣고 시작하면

    자동으로 시료의 최대 높이를 감지하여 최적의 높이로 설정됩니다. 사용자는 복잡한 형상의

    시료도 손쉽게 측정할 수 있습니다.

    또한, 수동으로 높이를 조정하는 경우에도 충돌방지센서에 의해 시료의 손상을 막아줍니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 사양

측정원소

Na(11)~U(92) ※He Purge 옵션

시료형태

액체, 분체, 고체

X선원

소형 공냉식 X선 관구 (Rh or W Target)

관전압 50 (가변)

관전류 20~1000

X선 조사방식

상면수직조사방식

검출기

Vortex (SDD) 검출기 액화질소 불필요

분석영역

0.2, 0.5, 1.2, 3.0 ㎜φ (자동 전환)

시료관찰

고해상도 CCD 카메라 (2 system)

필터

6모드 자동 전환

최대시료크기

250 (W) × 200 (D) × 150 (H)

장비의 크기

750 (W) × 740 (D) × 783 (H)

장비의 무게

160kg

전원 / 소비전력

AC100 ~ 240V (50 / 60Hz) / 400VA

샘플 체인저

연속 다점측정기능

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