제품소개

X선 이물검사 장치 EA8000A

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EA8000A는 CT나 Xray사진과 같은 원리인 X선 투과상에 의한 시료 중의 금속 이물을 

이용하여 형광X선 분석으로 원소를 검출하는 이물 해석 장치입니다.

형광X선 분석에서는 원소의 분포를 2차원 화상으로부터 취득된 매핑 분석에 의해

금속 이물의 원소를 식별합니다.

EA8000A는 수입 검사, 공정 내 검사와 불량 해석 등 현장에서의 이물이나 오염 등의

검사를 통해 신뢰성, 수율의 향상을 높여줍니다.

  

 

  

26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 1. 250 x 250 ㎜ 크기의 시료에서 20㎛ 수준의

     금속 이물을 수분만에 검출

    일례로, 250 × 250 (대략 B5 사이즈)의 전지 전극판 중에서 20정도의 미세한 금속 이물을

    검출하기 위해서 기존의 X선 투과검사장치는 10시간 정도의 촬상 시간이 필요했습니다.

    Hitachi High-Tech Science社는 새로운 X선 투과법의 개발로 촬상 시간을 대폭 단축하여,

    검색속도를 기존보다 100배 이상 빠른 3~10분으로 단축하였습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 2. 화상 처리에 의한 자동이물검출 

    고속으로 촬상한 250 × 200 의 X선 투과상 전면에 고속 이미지 처리를 실시하여,

    이물 포인트를 자동으로 검출합니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 3. 검출된 이물 포인트에 대해 자동원소식별

    자동 검출된 이물 포인트만을 형광X선 매핑하여 원소를 자동으로 식별합니다.

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 26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 4. 전극판의 미세 금속 이물도 원소식별 가능

    시료에서 검출된 금속 이물에 대해 자동으로 형광X선에 의한 원소식별을 실행합니다.

    일례로 전극판에 존재할 가능성이 있는 20㎛ 정도의 미세 금속 이물검사에서 기존에는

    시료 표면에 존재하는 것만 식별이 가능했습니다.

    이것은 시료 내부에 존재하는 경우, 이물로부터 발생한 형광X선이 소재 자체에 의해 흡수되어,

    신호 강도가 약해지기 때문입니다.

    본 장치는 독자적인 고강도 X선 광학계를 탑재하여 전극판·유기필름 내부에 함유된 20㎛ 정도의

    미세한 금속 이물에 대해서도 원소를 식별할 수 있습니다.

 

 

 

26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 5. 올인원(all-in-one)으로 작업 효율을 향상

    금속 이물의 검출속도와 원소 식별속도가 기존의 기술에 대비하여 월등히 향상되었습니다.

    현미경을 포함한 이 모든 것들이 하나의 장치에 내장되어 있으며, 개별 단위로 연계되어

    전자동으로 결과가 출력 됩니다.

    이로 인해 사용자는 시료의 세트만으로 측정 결과를 얻을 수 있어 작업 효율이 크게 향상되었습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 사양

측정원소

Mg(12)~U(92)

시료형태

분체, 고체

X선원

수냉식 X선 관구 (투과X)

소형 공냉식 X선 관구 (형광X)

관전압 15, 17.5, 20 (투과X) / 45 (형광X)

관전류 1~35 (투과X) / 900(형광X)

X선 조사방식

하면조사방식 (투과X)

상면조사방식 (형광X)

검출기

Area Image Sensor (투과X)

Vortex (SDD) 검출기 (형광X)

분석영역

30Φ (형광X)

시료관찰

고해상도 CCD 카메라

필터

4모드 자동 전환 (형광X)

최대시료크기

250 (W) × 200 (D) × 0~50 (H)

장비의 크기

1380 (W) × 1042 (D) × 1785 (H)

장비의 무게

660kg

전원 / 소비전력

AC200 ~ 240V (50 / 60Hz) / 1500VA



 

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