제품소개

형광X선 도금두께 측정기 FT110A


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지금까지의 도금두께 측정기와 마찬가지로 폭넓은 어플리케이션에 대응하며,

추가된 신기능에 의해 조작성과 측정성능의 향상으로 시료의 준비에서 측정

완료에 이르기까지 처리 시간을 대폭 단축할 수 있습니다.




26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 1. 오토 포커스 시스템  

    자동으로 위치를 결정하여 샘플을 넣고 몇 초 이내에 초점을 자동으로 조정합니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 2. 50㎚의 박막 두께를 10초에 측정

    최적화된 레이아웃에 미소빔(Beam)의 고감도화를 실현하여 미소 컬리메이터(0.1, 0.2Φ)의

    두께 측정 정밀도가 향상되었습니다.

 

 

 

26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 3. 표준시편 없이도 측정이 가능

    박막 FP 소프트웨어의 개선으로 표준시편이 없이도 측정이 가능합니다.

    다층막, 합금막의 측정이 용이해졌습니다.

 

 

 

26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 4. 광역관찰 시스템에 의한 간단한 위치 선택

    광역관찰 시스템은 시료의 전체상(250 x 200㎜)을 돤찰하고 특정 부분의 측정 위치를

    쉽게 지정할 수 있습니다.

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26d21e5d7825ab458d76582388b248f0_1581057021_3798.png 사양

측정원소

Ti(22)~Bi(83)

X선원

소형 공냉식 X선 관구

관전압 50

관전류 40~1000(가변)

검출기

비례계수관

분석영역

φ0.05, φ0.1, φ0.2, 0.025x4 ()

시료관찰

CCD 카메라 (광역관찰가능)

초점

레이저 포인터 (자동)

필터

1차 필터 : 자동전환

시료스테이지

<고정식> 535 × 530

<전동식> 260 × 210 (X축 이동거리 : 250 × 200 )

측정 소프트웨어

박막 FP법 (최대 5층도금 10원소), 검량선법

안전 기능

시료 도어락 기능, 충돌방지 진단기능

 

 

 

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